东莞理工学院招标与采购管理中心采用网上竞价方式开展的电子工程与智能化学院 前端预热滑轨式CVD沉积系统及等离子体PE系统采购项目（2次竞价） ，项目编号：JJ202011218，报价截止时间为2020-11-24 17:00。现将本项目竞价结果公布如下：一、项目编号：JJ202011218二、项目名称：前端预热滑轨式CVD沉积系统及等离子体PE系统采购项目（2次竞价）三、项目预算：146000.0元四、成交信息供应商名称：安徽贝意克设备技术有限公司供应商地址：合肥市高新区科学大道110号成交金额：145700.00元五、竞价成交规则在满足用户需求的前提下，按“价低者得”原则确定成交供应商。报价相同的，按参数最优者确定；报价相同且参数相同的，按报价时间先后顺序确定。六、竞价供应商报价明细及总报价
序号：1供应商名称：安徽贝意克设备技术有限公司总价：145700.00元报价时间：2020-11-19 11:52:22
| 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
| 前端预热滑轨式CVD系统 | 贝意克 BTF-1200C-II-SL-CVD | 1.00组 | 85800.00 | 1.开启式双温区真空管式滑轨炉：BTF-1200C-II-SL；炉管尺寸：Φ50*2000mm（两根石英管）；加热元件：电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）；加热区长度：200+200mm；恒温区长度：100+100mm；工作温度：1100℃；最高温度：1200℃；控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；控温精度：±1℃；升温速率：10℃/min；炉门结构：开启式；工作电源：AC220V /50HZ；额定功率：3KW。
2.预加热炉主要参数：加热区长度：100mm；最高温度：400°C；控温方式:智能化30段可编程控制；控温精度：±1℃；额定功率：800W；工作电压：220V；加热元件：电阻丝。
3.四路供气系统 GMF-4Z：外形尺寸：600x600x650mm;连接头类型：双卡套不锈钢接头；标准量程（N2)： 50sccm、100sccm 、200sccm、500 sccm；（量程可选）；准确度：±1.5%；线性：±0.5～1.5%；重复精度：±0.2%；响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec；工作压差范围：0.1～0.5 MPa；最大压力：3MPa；接口：Φ6,1/4''；显示：液晶屏显示；工作环境温度:5~45高纯气体；内外双抛不锈钢管：Φ6；压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格；截止阀：Φ6。
4.真空系统：外型尺寸：600*600*600mm；空气相对湿度≤85%；工作电电压：220V±10% 50~60HZ ；功率：400W ；抽气速率：165L/min；极限真空：4X10-2Pa；实验真空度：5.0X10-1Pa（空载）；容油量：1.1L；进气口口径：KF25；排气口口径：KF25；转速：1450rpm；噪音：50dB。
5.送货方式：免费送货上门至客户指定点。
6.质保周期：1年（易损易耗件除外）。 |
| 等离子体PE系统 | 贝意克 BTF-PE | 1.00组 | 59900.00 | 1. 射频电源与匹配器：电源-单相50/60Hz 220v±10%；
2.加热（功率）电源：2.5KW，25A；控制柜电源空气开关：32A空气开关 ；薄膜生长室温度：室温~ 1200℃；信号频率：13.56 MHz±0.005%；射频功率输出范围：5~500W；
3.送货方式：免费送货上门至客户指定点；
4.质保周期：1年（易损易耗件除外）。 |
序号：2供应商名称：安徽省巢湖市锐镱内燃机配件有限公司总价：145900.00元报价时间：2020-11-19 12:10:56
| 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
| 前端预热滑轨式CVD系统 | 贝意克 BTF-1200C-II-SL-CVD | 1.00组 | 85900.00 | 1.开启式双温区真空管式滑轨炉：BTF-1200C-II-SL；炉管尺寸：Φ50*2000mm（两根石英管）；加热元件：电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）；加热区长度：200+200mm；恒温区长度：100+100mm；工作温度：1100℃；最高温度：1200℃；控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；控温精度：±1℃；升温速率：10℃/min；炉门结构：开启式；工作电源：AC220V /50HZ；额定功率：3KW。
2.预加热炉主要参数：加热区长度：100mm；最高温度：400°C；控温方式:智能化30段可编程控制；控温精度：±1℃；额定功率：800W；工作电压：220V；加热元件：电阻丝。
3.四路供气系统 GMF-4Z：外形尺寸：600x600x650mm;连接头类型：双卡套不锈钢接头；标准量程（N2)： 50sccm、100sccm 、200sccm、500 sccm；（量程可选）；准确度：±1.5%；线性：±0.5～1.5%；重复精度：±0.2%；响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec；工作压差范围：0.1～0.5 MPa；最大压力：3MPa；接口：Φ6,1/4''；显示：液晶屏显示；工作环境温度:5~45高纯气体；内外双抛不锈钢管：Φ6；压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格；截止阀：Φ6。
4.真空系统：外型尺寸：600*600*600mm；空气相对湿度≤85%；工作电电压：220V±10% 50~60HZ ；功率：400W ；抽气速率：165L/min；极限真空：4X10-2Pa；实验真空度：5.0X10-1Pa（空载）；容油量：1.1L；进气口口径：KF25；排气口口径：KF25；转速：1450rpm；噪音：50dB。
5.送货方式：免费送货上门至客户指定点。
6.质保周期：1年（易损易耗件除外）。 |
| 等离子体PE系统 | 贝意克 BTF-PE | 1.00组 | 60000.00 | 1. 射频电源与匹配器：电源-单相50/60Hz 220v±10%；
2.加热（功率）电源：2.5KW，25A；控制柜电源空气开关：32A空气开关 ；薄膜生长室温度：室温~ 1200℃；信号频率：13.56 MHz±0.005%；射频功率输出范围：5~500W；
3.送货方式：免费送货上门至客户指定点；
4.质保周期：1年（易损易耗件除外）。 |
序号：3供应商名称：合肥蜀泰精密机械设备有限公司总价：146000.00元报价时间：2020-11-19 12:03:28
| 名称 | 品牌/型号 | 数量(单位) | 单价(元) | 应标技术参数 |
| 前端预热滑轨式CVD系统 | 贝意克 BTF-1200C-II-SL-CVD | 1.00组 | 86000.00 | 1.开启式双温区真空管式滑轨炉：BTF-1200C-II-SL；炉管尺寸：Φ50*2000mm（两根石英管）；加热元件：电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）；加热区长度：200+200mm；恒温区长度：100+100mm；工作温度：1100℃；最高温度：1200℃；控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；控温精度：±1℃；升温速率：10℃/min；炉门结构：开启式；工作电源：AC220V /50HZ；额定功率：3KW。
2.预加热炉主要参数：加热区长度：100mm；最高温度：400°C；控温方式:智能化30段可编程控制；控温精度：±1℃；额定功率：800W；工作电压：220V；加热元件：电阻丝。
3.四路供气系统 GMF-4Z：外形尺寸：600x600x650mm;连接头类型：双卡套不锈钢接头；标准量程（N2)： 50sccm、100sccm 、200sccm、500 sccm；（量程可选）；准确度：±1.5%；线性：±0.5～1.5%；重复精度：±0.2%；响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec；工作压差范围：0.1～0.5 MPa；最大压力：3MPa；接口：Φ6,1/4''；显示：液晶屏显示；工作环境温度:5~45高纯气体；内外双抛不锈钢管：Φ6；压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格；截止阀：Φ6。
4.真空系统：外型尺寸：600*600*600mm；空气相对湿度≤85%；工作电电压：220V±10% 50~60HZ ；功率：400W ；抽气速率：165L/min；极限真空：4X10-2Pa；实验真空度：5.0X10-1Pa（空载）；容油量：1.1L；进气口口径：KF25；排气口口径：KF25；转速：1450rpm；噪音：50dB。
5.送货方式：免费送货上门至客户指定点。
6.质保周期：1年（易损易耗件除外）。 |
| 等离子体PE系统 | 贝意克 BTF-PE | 1.00组 | 60000.00 | 1. 射频电源与匹配器：电源-单相50/60Hz 220v±10%；
2.加热（功率）电源：2.5KW，25A；控制柜电源空气开关：32A空气开关 ；薄膜生长室温度：室温~ 1200℃；信号频率：13.56 MHz±0.005%；射频功率输出范围：5~500W；
3.送货方式：免费送货上门至客户指定点；
4.质保周期：1年（易损易耗件除外）。 |
七、公告期限自本公告发布之日起1个工作日。八、其他补充事宜无九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：张老师地 址：东莞市松山湖大学路1号东莞理工学院联系方式：186821032092.项目联系方式项目联系人：钟老师电 话：0769-22862255
